CN119704032A 一种研磨盘研磨速率的修正方法 （东莞新科技术研究开发有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119704032A

(43)申请公布日2025.03.28

(21)申请号202311256160.8

(22)申请日2023.09.26

(71)申请人东莞新科技术研究开发有限公司

地址523087广东省东莞市南城区宏远工

业区

(72)发明人张涛杰

(74)专利代理机构广州三环专利商标代理有限

公司44202

专利代理师廖慧琪

(51)Int.Cl.

B24B37/005(2012.01)

B24B49/00(2012.01)

B24B37/04(2012.01)

权利要求书2页说明书6页附图2页

(54)发明名称

一种研磨盘研磨速率的修正方法

(57)摘要

CN119704032A本发明公开了一种研磨盘研磨速率的修正方法，首先，按照预定研磨速率控制研磨盘对半导体元件进行预研磨，并在预研磨的过程中对半导体元件进行高度检测，然后基于对半导体元件的高度检测结果确定实际研磨速率，当所述实际研磨速率超出预定研磨速率的设定阈值时，对所述预定研磨速率进行修正，基于修正结果更新预定研磨速率，并返回至所述按照预定的研磨速率控制研磨盘对半导体元件进行预研磨步骤，直到实际研磨速率不超出预定研磨速率的设定阈值为止，这样，实现了对研磨盘的预定研磨速率进行了校正，以便于在正常使用研磨