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- 2026-06-13 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119890078A
(43)申请公布日2025.04.25
(21)申请号202411892398.4
(22)申请日2024.12.20
(71)申请人浙江先导热电科技股份有限公司
地址324200浙江省衢州市常山县金川街
道龙江路7号8幢、10幢
(72)发明人张博黄晓娟王桥刚
(74)专利代理机构杭州杭诚专利事务所有限公
司33109
专利代理师汪利胜
(51)Int.Cl.
H01L21/67(2006.01)
权利要求书1页说明书6页附图6页
(54)发明名称
一种晶圆冷却装置及方法
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