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- 2026-06-13 发布于山西
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119716173A
(43)申请公布日2025.03.28
(21)申请号202510229199.3
(22)申请日2025.02.28
(71)申请人南京银茂微电子制造有限公司
地址211200江苏省南京市溧水区秀山路9
号
(72)发明人庄伟东
(51)Int.Cl.
G01R1/067(2006.01)
G01R1/073(2006.01)
G01R31/28(2006.01)
G01R1/04(2006.01)
权利要求书2页说明书5页附图11页
(54)发明名称
一种
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