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研磨段机构部件说明：贴胶机操作与限制详解.pdfVIP

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  • 2026-06-13 发布于北京
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研磨段机构部件说明：贴胶机操作与限制详解.pdf

    一、贴胶机（1/2）

    (1)Loader载台：因机台空间限

    制，现有载台无法扩大，故只能

    升降载应对最大尺寸为8寸之晶舟。

    台即定

    位载台

    (2)搬运：

    a.Tapping机台搬运采用叉子式；

    b.前面采用真空吸附（U型）。

    c.因现在来料wafer都需要研磨

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