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狭缝式涂布机膜厚控制方法及系统实用指南.pdf

狭缝式涂布机膜厚控制方法及系统实用指南.pdf

    （19）中华人民共和国国家知识产权局

    （12）发明专利说明书

    二存储器和执行机构按程序工作执行机构调整涂布机的涂布间隙本发明可以提高膜厚均匀度且可保证干料膜厚是在允许误差范围内法律状态法律状态公告日法律状态信息法律状态公开公开公开公开实质审查的生效实质审查的生效实质审查的生效实质审查的生效授权授权授权（10）申请公布号

    CN102632019B

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