CN119725187A 真空搬送装置和真空搬送装置的控制方法 （东京毅力科创株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119725187A

(43)申请公布日2025.03.28

(21)申请号202411668422.6

(22)申请日2020.09.11

(30)优先权数据

2019-1722762019.09.20JP

(62)分案原申请数据

202080062638.12020.09.11

(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本

(72)发明人石桥诚之井富隼人高桥裕之

(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277

专利代理师刘新宇李靖

(51)Int.Cl.

H01L21/677(2006.01)

权利要求书3页说明书9页附图5页

(54)发明名称

真空搬送装置和真空搬送装置的控制方法

(57)摘要

CN119725187A一种真空搬送装置和真空搬送装置的控制方法，该真空搬送装置配置于工艺腔室与加载互锁室之间，用于在工艺腔室与加载互锁室之间搬送基板，所述真空搬送装置具备容器、搬送装置、排气装置、露点计以及控制装置。容器经由闸阀来与工艺腔室及加载互锁室分别连接。搬送装置设置于容器内，用于在工艺腔室与加载互锁室之间搬送基板。排气装置用于排出容器内的气体。露点计测定容器内的气体的露点温度。控制装置基于由露点计测定出的露点温度来判定是