CN119575761A 一种光刻胶的涂布方法 （苏州皓申智能科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119575761A

(43)申请公布日2025.03.07

(21)申请号202411889252.4

(22)申请日2024.12.20

(71)申请人苏州皓申智能科技有限公司

地址215000江苏省苏州市中国（江苏）自

由贸易试验区苏州片区苏州工业园区

兴浦路200号11幢402室

(72)发明人吴廷斌杨欣苏丰

(74)专利代理机构苏州市中南伟业知识产权代

理事务所(普通合伙)32257

专利代理师王莎莎

(51)Int.Cl.

G03F7/16(2006.01)

权利要求书1页说明书6页附图3页