CN119736611A 薄膜制造方法 （秀博瑞殷株式公社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119736611A

(43)申请公布日2025.04.01

(21)申请号202411832577.9

(22)申请日2020.02.24

(30)优先权数据

10-2019-01184162019.09.25KR

(62)分案原申请数据

202010111582.62020.02.24

(71)申请人秀博瑞殷株式公社地址韩国京畿道

(72)发明人延昌峰郑在善边惠兰宋泰浩金素贞李锡宗

(74)专利代理机构北京鸿元知识产权代理有限

公司11327

专利代理师姜虎陈英俊

(51)Int.Cl.

C23C16/455(2006.01)

C23C16/04(2006.01)

C23C16/34(2006.01)

C23C16/52(2006.01)

H01L21/02(2006.01)

H01L21/285(2006.01)

权利要求书2页说明书10页附图2页

(54)发明名称

薄膜制造方法

(57)摘要

CN119736611A本发明涉及薄膜制造方法，其包括：步骤(i)，使由化学式1表示的薄膜形成用生长抑制剂吸附在基板表面；以及步骤(ii)，使Ti类薄膜前体吸附在吸附有薄膜形成用生长抑制剂的基板表面。本发明通过抑制副反应