CN119736719A 一种提升蓝宝石光学元件高压冲击损伤阈值的后处理方法 （中国工程物理研究院激光聚变研究中心）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119736719A

(43)申请公布日2025.04.01

(21)申请号202411938352.1

(22)申请日2024.12.26

(71)申请人中国工程物理研究院激光聚变研究中心

地址621000四川省绵阳市科学城绵山路

64号

(72)发明人李佳孙来喜王方钟铭龙

李晓佳杨奇邹蕊矫李玉海刘红婕

(74)专利代理机构绵阳远卓弘睿知识产权代理事务所(普通合伙)51371

专利代理师贾晓燕

(51)Int.Cl.

C30B33/10(2006.01)

C30B33/00(2006.01)

权利要求书1页说明书6页附图6页

(54)发明名称

一种提升蓝宝石光学元件高压冲击损伤阈

值的后处理方法

(57)摘要

CN119736719A本发明公开了一种提升蓝宝石光学元件高压冲击损伤阈值的后处理方法，包括：首先通过高温化学腐蚀反应暴露并钝化亚表面缺陷，再通过高温下磷酸反应去除不溶解的反应沉积物，随后通过多频超声波交替复用辅助NaOH溶液去除多余的酸性物质，最后通过多频超声波交替复用辅助高纯水和表面活性剂进行漂洗。本发明可以对蓝宝石光学元件进行全局处理，通过高温下特定比例的硫酸和磷酸混合溶液腐蚀处理，再通过磷酸溶解去除沉积层，暴露亚表