原创力文档福禄克测试仪器半导体行业应用产品手册
人工智能、智能驾驶等应用驱动下，半导体芯片电路设计越来越复
杂，对芯片设计及制造过程也提出更高要求。
福禄克测试解决方案应用于半导体行业关键流程：芯片研发热像检
测、芯片生产厂务系统运维、单晶硅片制备精准测温、薄膜沉积工
艺精准测温、晶片抛光精准测温等，您可通过此手册了解具体应用
信息和详细的技术内容。
A1
单晶硅制备精准控温单
应用点
福禄克测试仪器半导体行业应用产品手册
人工智能、智能驾驶等应用驱动下，半导体芯片电路设计越来越复
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