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碳化硅晶体项目设备选型方案.docx

碳化硅晶体项目设备选型方案.docx

    碳化硅晶体项目设备选型方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概述 3

    二、设备选型原则 5

    三、工艺需求分析 8

    四、原料制备设备 13

    五、混料与装料设备 17

    六、热场系统设备 21

    七、籽晶制备设备 25

    八、晶体生长设备 27

    九、温控系统设备 30

    十、真空系统设备 35

    十一、切割加工设备 38

    十二、研磨抛光设备 43

    十三、清洗处理设备 46

    十四、检测分析设备 48

    十五、自动化控制系统 52

    十六、辅助公用系统 55

    十七、设备性能指标 62

    十八、产能匹配分析 64

    十九、能

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