CN119741716A 晶圆图像的检测方法、装置、电子设备以及存储介质 （苏州镁伽科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119741716A

(43)申请公布日2025.04.01

(21)申请号202411885098.3

(22)申请日2024.12.19

(71)申请人苏州镁伽科技有限公司

地址215000江苏省苏州市工业园区东平

街277号

(72)发明人徐海俊

(74)专利代理机构北京睿邦知识产权代理事务所(普通合伙)11481

专利代理师徐丁峰张玮

(51)Int.Cl.

G06V30/19(2022.01)

G06V30/148(2022.01)

G06T7/00(2017.01)

G06V10/82(2022.01)

G06V30/18(2022.01)

权利要求书2页说明书15页附图3页

(54)发明名称

晶圆图像的检测方法、装置、电子设备以及

存储介质

(57)摘要

CN119741716A本发明提供了一种晶圆图像的检测方法、装置、电子设备以及存储介质。上述检测方法包括：确定待测晶圆的晶圆编号的每个编号字符在待测图像中各自对应的字符区域；针对每个编号字符，将该编号字符对应的字符区域在待测图像中对应的区域图像输入至该编号字符对应的检测模型中，以得到该编号字符的第一检测结果；基于所有编号字符的第一检测结果，确定待测晶圆的待测图像是否存在异常。一方面，