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MEMS惯性开关的研究现状概述

微机电系统在上个世纪60年代由微传感器发展而来，最初大量运用于汽车安全气囊，随着MEMS技术的发展，依靠自身“轻、薄、短、小”的优势，对工农业、信息、环境、医疗。空间技术、国防等领域发展产生了巨大的影响。

1.1国外发展现状

国外的发展起步早发展较快，在美国、日本、德国发展最为突出。美国最早将MEMS技术的研究应用于军事领域，日本的研究多用于医疗等领域。

日本东京大学的TadaoMatsunaga研发了一种用于汽车安全气囊的惯性开关，如图1.2。开关有4个质量块与一个电极，但是此开关依然是单阈值的。在响应性能上，响应一致性较差，在正碰的情况下响应时间为20ms,侧碰时响应为4ms。但是，运用于气囊上已经达到了要求。开关的制造精度要求较高，封装时要冲入高压气体，成本较高。

图1.2运用于安全气囊的MEMS开关

Selvakumar等人研发了一种加速度检测装置，由开关阵列和电路组成。开关阵列通过集成了256个悬臂梁开关，如图1.3(a)所示，单个开关结构如图1.3(b)所示，阈值不同通过梁长与质量的变化实现。电路采用CMOS工艺，通过256个信号通道连接每个加速度开关，功耗仅为300μW。开关可以检测1.5g-1000g的大范围的加速度。但是,这种开关的抗过载能力较差，信号处理电路很复杂，测试使用有很大困难。