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光刻机器人系列编程基础：CanonFPA-1100NZ概述

1.光刻机器人的基本概念

光刻机器人是半导体制造过程中用于精确控制光刻工艺的关键设备。它们通过在硅片上涂覆光刻胶，然后使用高精度的光束将设计图案转移到光刻胶层上，最终通过显影和蚀刻工艺将图案固定在硅片上。这些过程要求极高的精度和稳定性，因此光刻机器人的编程和控制显得尤为重要。

1.1光刻机器人的工作流程

硅片准备：硅片被送入光刻机器人，进行表面清洁和预处理。

光刻胶涂覆：光刻机器人通过精确控制将光刻胶均匀地涂覆在硅片上。

对准：通过光学对准系统，确保光束准确对准硅片上的预定位置。

曝光：使