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人工智能训练芯片生产项目设备选型方案.docx

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    人工智能训练芯片生产项目设备选型方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概况 3

    二、设备选型目标 5

    三、产品工艺要求 6

    四、产能配置原则 9

    五、核心工序设备构成 11

    六、晶圆制造设备选型 14

    七、光刻配套设备选型 20

    八、刻蚀配套设备选型 21

    九、薄膜沉积设备选型 25

    十、离子注入设备选型 28

    十一、清洗设备选型 32

    十二、热处理设备选型 35

    十三、测量检测设备选型 38

    十四、封装测试设备选型 40

    十五、自动化搬运系统 42

    十六、洁净环境设备选型 44

    十七、动力保障设备选型

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