SEMI F102-2022 中文版 超纯水系统消毒与生物污染控制标准指南.docxVIP

SEMIF102-2022中文版超纯水系统消毒与生物污染控制标准指南

标准基础信息

标准编号：SEMIF102-2022

标准中文全称：超纯水系统消毒与生物污染控制标准指南

标准归口机构：SEMI国际半导体设备与材料协会、SEMIWG-UPW超纯水系统运维工作组

发布日期：2022年04月01日

实施日期：2022年10月01日

替代版本：替代SEMIF102-2018，针对12英寸先进制程晶圆厂UPW系统生物膜顽固性污染、低温管网微生物滋生、紫外消毒衰减失效、化学消毒残留四大行业痛点完成全面修订，新增在线生物实时监测、无化学残留热消毒闭环工艺、生物膜离线溯源检测三大模块

标准适用定位：半导体超纯水系统专属运维指南标准，为UPW全流程系统提供标准化消毒工艺、微生物管控阈值、生物膜预防与清除、消毒风险管控、日常生物监测全套合规方案；承接SEMIF109痕量金属管控要求，补齐纯水系统生物污染维度管控空白，是晶圆厂UPW系统日常运维、周期性消毒、异常生物污染处置、海内外SEMI审厂、客户稽核的强制参考指南

关联联动标准：水质基础指标对标ISO3696:1987+Amd1:2023；痕量金属管控对标SEMIF109-2023；管网结构管控对标ISO13200-1:2022；静电防护对标IEC61340-5-1:2016；水质检测方法对标JISK0557:2022；