超纯水管路系统抛光与钝化施工验收规范（2025版）.docxVIP

超纯水管路系统抛光与钝化施工验收规范（2025版）

前言

本规范针对电子级超纯水输送不锈钢管路专属编制，适配半导体晶圆制造、光伏电池、精密电子、生物医药等高洁净用水场景，聚焦316L/316LESR不锈钢洁净管路内壁抛光、整体化学钝化全流程施工管控与质量验收。结合GB51035-2014《电子工业纯水系统安装与验收规范》、GB50591-2010《洁净室施工及验收规范》、CECS139-2025《超纯水管路系统设计与安装规范》及高纯水管路现场运维实战经验，优化2022版旧规范工艺短板，新增电解抛光全过程管控、低温钝化工艺、微观表面检测、焊接焊缝专项验收、系统冲洗联动要求，解决传统管路抛光不均、钝化膜失效、水质金属离子析出、内壁微生物滋生、TOC超标等行业共性问题。

本规范适用于新建、改扩建、大修后的电子级EW-Ⅰ~EW-Ⅲ级超纯水输送洁净不锈钢管路，包含主管路、支管、循环回路、阀件、过滤器接头、弯头三通等全套管路配件的抛光、钝化、清洗、验收及后期维护工作，可直接作为施工交底、过程质检、竣工验收、第三方审计及项目归档的正式依据。

1总则

1.1编制目的

1 统一超纯水管路机械抛光、电解抛光、化学钝化施工工艺标准，规范作业流程，规避施工偏差导致的管路内壁粗糙、氧化层残缺、金属离子持续析出问题；

1 构建分阶段三级验收体系（工序自检、项目部复检、第三方终检），明确主控项目、一