超纯水水质日常监测记录表模板（符合电子级水标准 可直接编辑）.docxVIP

超纯水水质日常监测记录表模板（符合电子级水标准可直接编辑）

0填表前置说明

0.1编制依据

本记录表依据GB/T11446.1-2013《电子级水第1部分：规格》、半导体晶圆厂超纯水站运维管控规范、前文《半导体超纯水站安全运行与应急处置规程（完全版）》编制，适配EW-Ⅰ级最高等级电子超纯水监测要求，适用于超纯水站产水端、循环管网末端、车间用水终端全点位水质日常台账记录，可直接编辑、打印归档，满足厂内内审、第三方外审及安监环保核查要求。

0.2监测分级频次（行业通用强制频次）

在线实时监测（每小时记录1次，三班运行全覆盖）：电阻率、TOC、产水流量、管网压力、水温

每班人工复核（8h/班，每班交接必检）：在线仪表人工比对、管路渗漏排查、仪表报警复盘

每日实验室离线抽检（每日凌晨低峰取水）：颗粒物、微生物、关键痕量金属离子、pH值

每周全项复检：全指标全覆盖检测，同步归档周报，异常数据全程溯源闭环

0.3EW-Ⅰ级电子超纯水合格判定标准（表格判定唯一依据）

检测指标

单位

合格标准（25℃）

超标预警阈值

超标应急动作

电阻率

MΩ·cm

≥18.2

＜18.0

立即切旁路，停止供水，分段排查

总有机碳TOC

μg/L

≤1.0

＞1.0

启动UV强化降解，管网循环消毒

0.05μm颗粒物

个/L

≤100

＞100

更换终端超滤滤芯，排查管网密封性

微生物

CFU/L