CN119768894A 成膜方法、成膜装置、基座及α-氧化镓膜 （信越化学工业株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119768894A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202380061363.3

(22)申请日2023.08.14

(30)优先权数据

2022-1352792022.08.26JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.21

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0294522023.08.14

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/043134JA2024.02.29

(71)申请人信越化学工业株式会社

地址日本东京都千代田区丸内