CN119766186A 弹性波器件性能样本预处理方法、系统、设备及存储介质 （深圳飞骧科技股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119766186A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202510266011.2

(22)申请日2025.03.07

(71)申请人深圳飞骧科技股份有限公司

地址518052广东省深圳市南山区南头街

道大汪山社区南光路286号水木一方

大厦1栋1601

(72)发明人请求不公布姓名请求不公布姓名

(74)专利代理机构深圳君信诚知识产权代理事务所(普通合伙)44636

专利代理师刘伟

(51)Int.Cl.

H03H9/17(2006.01)

H03H9/25(2006.01)

H03H9/02(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图2页

(54)发明名称

弹性波器件性能样本预处理方法、系统、设

备及存储介质

(57)摘要

CN119766186A本发明提供了一种弹性波器件性能样本预处理方法、系统、设备及存储介质，所述方法包括：S101、通过测试获取弹性波器件在晶圆上划分的所有器件区域各自的性能参数，所述性能参数为S参数；S102、根据所述弹性波器件的端口结构以及所述性能参数的频点，对所述性能参数进行数学期望计算，得到性能参数矩阵；S103、将所述性能参数对应的所述性能参数矩阵按照所述频点的顺序组合得到参数矩阵集合，并将所述参