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CN119768238A 用于递送液体流的装置与系统以及用于平面衬底的非浸没式湿式化学处理的设备与方法 （德国艾托特克有限两合公司）.docxVIP

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  • 2026-06-23 发布于山西
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CN119768238A 用于递送液体流的装置与系统以及用于平面衬底的非浸没式湿式化学处理的设备与方法 （德国艾托特克有限两合公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119768238A

    (43)申请公布日2025.04.04

    (21)申请号202380062193.0

    (22)申请日2023.08.24

    (30)优先权数据22022.08.29EP

    (85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.26

    (86)PCT国际申请的申请数据

    PCT/EP2023/0732682023.08.24

    (87)PCT国际申请的公布数据

    WO2024/046871EN2024.03.07

    (71)申请人德国艾托特克有限两合公司地址德国柏林

    (72)发明

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