《光学和光子学 光学元件总散射的测试方法》.docxVIP

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光学和光子学光学元件总散射的测试方法

1范围

本文件规定了光学元件表面总散射值测试的原理、设备、准备、程序及结果分析与计算等内容。

本文件适用于曲率半径大于10m的镀膜和非镀膜光学元件表面总散射的测量。测量波长范围从高于250nm的紫外区到低于15μm的红外光谱区域。

说明：对于190nm至250nm之间的深紫外范围的散射测量，可参见附录A。对于波长大于15μm以上的范围，一般来说其光学散射效应可忽略不计。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T15313-2008激光术语

GB/T25915.1-2021洁净室及相关控制环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级

3术语和定义

GB/T15313中给出的以及下列术语和定义适用于本文件。

4符号和计量单位

本文件中涉及的符号和计量单位见表1。

表1符号和计量单位

表1

符号

名称

单位

λ

波长

nm

α

入射角

度（0）

γ

偏振角

度（0）

dσ

样品表面的光束直径

mm

dσ,p

光束端口最大光束直径

mm

Pinc

入射辐射功率

W

Pbac

后向散射辐射总功率

W