钼基场发射阵列制备与性能研究.pdf

T4P.012

体钼场阵列的与表征

,松,,微电子

冷金属表面的场现象可以描述为导带电子通过金属

本文首次了一种通过氟基感应耦合等离子体表面的势垒进行量子力学隧穿[5‑6]。图1是场模型

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(I的示意图,包括阴极(

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