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半导体原料制备工专项题库答案与解释
一、单选题(只有一个正确答案)
1.在多晶硅生产中,直拉法拉制硅单晶时,石英坩埚的主要作用是?
A.作为掺杂剂源
B.作为溶质载体并防止环境污染
C.提供晶体生长的热场
D.提供机械支撑
答案:B
解析:石英坩埚在直拉法中主要作为溶质的载体,用于盛放多晶硅原料,同时作为密封容器防止外部污染进入晶锭。
2.电子级多晶硅主要依据什么指标进行分级?
A.杂质元素总含量
B.电阻率
C.晶体导电类型
D.直径大小
答案:A
解析:电子级多晶硅主要依据内部金属杂质(如Fe、Cu、Ni等)的总含量进行分
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