CN119685808A 一种沉积腔内压力的控制方法及化学气相沉积方法 (中国电子工程设计院股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-06-25 发布于重庆
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CN119685808A 一种沉积腔内压力的控制方法及化学气相沉积方法 (中国电子工程设计院股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119685808A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202411869408.2

(22)申请日2024.12.18

(71)申请人中国电子工程设计院股份有限公司

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