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- 2026-06-25 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120231028A
(43)申请公布日2025.07.01
(21)申请号202510376710.2C23C16/455(2006.01)
C04B35/645(2006.01)
(22)申请日2025.03.27
C04B35/581(2006.01)
(71)申请人拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公
司
地址110171辽宁省沈阳市浑南区水家900
号
(72)发明人张亚新请求不公布姓名
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