超导量子芯片集成技术概述.pdfVIP

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  • 2026-06-26 发布于福建
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电子元件与材料第41卷第11期11月2022年

ElectronicComponentsandMaterialsVol.41No.11Nov2022

超导量子芯片集成技术概述

1,222,32,3

郑伟文,李晓伟,熊康林,冯加贵

(1.量子科技长三角产业创新中心,江苏苏州215123;2.材料科学姑苏实验室,江苏苏州215123;

3.中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米真空互联实验站,江苏苏州215123)

摘要:超导量子与传统半导体技术兼容性好,具有微纳制造工艺成熟、系统集成度高、可扩展性好

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