CN119804332A 一种用于晶圆的检测系统、方法及相关产品 （苏州高视半导体技术有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119804332A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202510305319.3

(22)申请日2025.03.14

(71)申请人苏州高视半导体技术有限公司

地址215153江苏省苏州市高新区嘉陵江

路198号11幢9层903室、904室

(72)发明人请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名

(74)专利代理机构北京维昊知识产权代理事务所(普通合伙)11804

专利代理师祁晓颖

(51)Int.Cl.

G01N21/01(2006.01)

G01N21/95(2006.01)

G01N21/956(2006.01)

权利要求书1页说明书11页附图4页

(54)发明名称

一种用于晶圆的检测系统、方法及相关产品

(57)摘要

CN119804332A本申请公开了一种用于晶圆的检测系统、方法及相关产品，所述缺陷检测系统包括光源模块，预处理模块、摄像模块以及检测模块；其中，所述光源模块用于提供第一光线，其中，所述第一光线的波段范围大于预设波段范围；所述预处理模块用于对所述光线进行预处理，以得到第二光线；所述摄像模块用于基于所述第二光线对晶圆进行拍摄，以得到晶圆图像；所述检测模块用于对所述晶圆图像进行检测，以得到晶圆