化学机械抛光机器人系列编程：Hitachi FPP-300_5.FPP-300编程语言与环境.docx

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5.FPP-300编程语言与环境

5.1编程语言概述

在化学机械抛光（CMP）机器人系列编程中，HitachiFPP-300使用的是专为工业机器人设计的编程语言。这种语言不仅支持基本的运动控制，还提供了高级的工艺控制和数据处理功能。FPP-300的编程语言基于类似于C的语法结构，但具有许多专门针对CMP工艺的特性。

5.1.1语言特点

结构化编程：支持模块化编程，可以将复杂的任务分解为多个子程序，便于管理和调试。

运动控制指令：提供丰富的运动控制指令，包括直线运动、圆弧运动、关节运动等。

工艺参数设置：可以方便地设置和调整CMP工艺参数，如抛光压