CN119799046A 一种大直径单晶硅生长用复合涂层及其制备方法 （北京麦竹吉科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119799046A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202510297378.0

(22)申请日2025.03.13

(71)申请人北京麦竹吉科技有限公司

地址100085北京市海淀区上地信息路1号

1号楼21层2102-1

(72)发明人陶莹

(74)专利代理机构北京京智汇一专利代理事务所(普通合伙)16374

专利代理师夏晶

(51)Int.Cl.

C09D1/00(2006.01)

C30B15/10(2006.01)

C30B29/06(2006.01)

C09D7/61(2018.01)

权利要求书1页说明书8页附图1页

(54)发明名称

一种大直径单晶硅生长用复合涂层及其制

备方法

(57)摘要

CN119799046A本发明属于单晶硅涂层技术领域，具体涉及一种大直径单晶硅生长用复合涂层及其制备方法。其中，大直径单晶硅生长用复合涂层包括以下原料：陶瓷复合物70_90份，碳纤维布5_15份，CeO25_15份；采用硅烷偶联剂改性TaC实现与MoSi2的化学冶金结合，制备得到陶瓷复合物，增强了界面结合，CeO2预涂层与碳纤维布构建了“化学键合_机械互锁_梯度热缓冲”的三维增强体系。碳纤维布的高强度网络与CeO2细化的陶瓷晶粒