CN119806049A 基于多轴纳米超快系统的波纹度误差补偿装置及控制方法 （电子科技大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119806049A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202510294077.2

(22)申请日2025.03.13

(71)申请人电子科技大学

地址611731四川省成都市高新区（西区）

西源大道2006号

(72)发明人何松涛王伟

(74)专利代理机构电子科技大学专利中心51203

专利代理师曾磊

(51)Int.Cl.

G05B19/41(2006.01)

B23Q11/00(2006.01)

B23Q15/14(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附图2页

(54)发明名称

基于多轴纳米超快系统的波纹度误差补偿

装置及控制方法

(57)摘要

CN119806049A本发明提供了一种基于多轴纳米超快系统的波纹度误差补偿装置及控制方法，补偿装置包括四个相同型号的驱动单元、一条柔性铰链、一个真空吸附平台、一个连接法兰和一个固定底座，驱动单元包括压电陶瓷驱动器和位移传感器，所述压电陶瓷驱动器位于柔性铰链的底部，真空吸附平台与柔性铰链相连，压电陶瓷驱动器的下端与固定底座相连进行支撑，四组柔性铰链并联对称分布在连接法兰上，连接法兰位于固定底座上，波纹度误差补偿装置具有三个自由度，通过施加电压驱动压电陶瓷驱动器进行真空吸附平台位姿的调整