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第十二章扫描电子显微镜;透射电镜的成像------电子束穿过样品后获得样品衬度的信号（电子束强度），利用电磁透镜（三级）放大成像。;

扫描电镜（SEM）的用途：

⑴断口形貌分析、金相表面形貌观察；

⑵成分分析（和电子探针结合）；

⑶材料变形与断裂动态过程原位观察。

分辨率：最高能达1nm（二次电子像）；

放大倍数：20——80万倍左右。;高能电子束与样品作用产生各种信息：

二次电子、背散射电子、

吸收电子、特征X射线、

俄歇电子、透射电子等。;一.背散射电子;特点：背散射电子来自样品表层几百纳米的深

度范围，其产额能随样品原子序数的增

大而增多。

作用：不仅能做形貌分析，还可定性作成分分

析。;二.二次电子;三.吸收电子;特点：样品中原子序数较大的元素产生的背散射

电子的数目较多，相反，吸收电子的数量

就较少；反之亦然。因此，吸收电子也可

反映原子序数衬度，可进行定性微区成分

分析。

3.作用：定性微区成分分析。;四.透射电