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MEMS固体化学微推进阵列：从设计、制作到性能优化的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

随着航天技术的飞速发展以及对深空探测的不断深入，航天器正朝着小体积、低成本且分布式的方向发展。例如，美国国家航空航天局（NASA）致力于采用成本低廉的微纳/皮纳卫星构建可自主编程控制和重构的分布式卫星系统，利用多个小型飞行器协同工作替代单个大型飞行器，大幅提升系统对环境变化的适应能力，由此可见，未来天基力量将依赖小质量、强适应性的新一代微纳星和皮星。

在这一背景下，微机电系统（MEMS）技术的兴起为航天器的小型化提供了可能。MEMS技术能够将机械元件与集成电路相结合，通过微纳米加工技术制造出