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基于主动隔振的平台低频振动抑制与自适应滤波

摘要

在精密运动控制与超精密制造领域，地基传递的低频微振动是限制系统极限性能的核心痛点。传统被动隔振技术在0.5-10Hz频段极易与地基振动产生共振，无法满足纳米级定位精度需求。本课题针对此现实痛点，设计了一套基于主动隔振的平台低频振动抑制系统。系统以高精度加速度传感器感知微振动，结合响应迅捷的音圈电机作为执行机构，核心引入FxLMS自适应滤波算法构建闭环控制律，实现对0.5-10Hz低频扰动的动态隔离。

全文遵循“需求分析→总体设计→详细设计→实现→测试”的工程递进思路展开。第一章剖析低频隔振需求与现有方案局限；第二章论证音圈电机