CN119812077A 一种晶圆批量传输方法及系统 （上海大族富创得科技股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119812077A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202510302390.6

(22)申请日2025.03.14

(71)申请人上海大族富创得科技股份有限公司

地址201112上海市闵行区万芳路555号1

幢1层102室、2层202室

(72)发明人倪萌周太君李宏伟陈垒

(74)专利代理机构重庆商贝知识产权代理事务所(普通合伙)50323

专利代理师龙钰

(51)Int.Cl.

H01L21/677(2006.01)

H01L21/687(2006.01)

权利要求书3页说明书7页附图7页

(54)发明名称

一种晶圆批量传输方法及系统

(57)摘要

CN119812077A本发明涉及半导体技术领域，尤其是指一种晶圆批量传输方法及系统，包括机架、设置于机架并用于分别放置两个晶圆盒的第一放置位和第二放置位、用于保持晶圆的第一承载座和第二承载座、用于带动机架上下移动的升降机构及用于带动第一承载座和第二承载座相互靠近或者远离的平移机构，所述第一承载座和第二承载座分别对应第一放置位和第二放置位；本发明能够使晶圆并列，自动实现晶圆批量转移，避免人工操作存在的效率低、主观性强及误差率高等情况

CN119812077A

CN119