CN119816926A 学习装置、信息处理装置、基板处理装置、基板处理系统、学习方法及处理条件决定方法 （株式会社斯库林集团）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119816926A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202380063057.3

(22)申请日2023.06.01

(30)优先权数据

2022-1531522022.09.26JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.28

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0205282023.06.01

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/070055JA2024.04.04

(71)申请人株式会社斯库林集团地址日本京都府

(72)发明人德山真裕高木义德

(74)专利代理机构隆天知识产权代理有限公司

72003

专利代理师马长玉

(51)Int.Cl.

H01L21/306(2006.01)

G06N20/00(2006.01)

H01L21/02(2006.01)

H01L21/304(2006.01)

权利要求书3页说明书21页附图14页

(54)发明名称

学习装置、信息处理装置、基板处理装置、基

板处理系统、学习方法及处理条件决定方法

(57)摘要

CN119816926A本发明的学习装置包括：实验数据获取部，在以包括表示随着时间的经过而相对于基板变动的喷嘴的相对位置的变动条件的