CN119816937A 形成互连结构的方法 （埃万特公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119816937A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202380060486.5

(22)申请日2023.08.17

(30)优先权数据

63/399,5512022.08.19US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.18

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2023/0724312023.08.17

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/040200EN2024.02.22

(71)申请人埃万特公司

地址美国俄亥俄州

(72)发明人V·普拉亚斯周俭K·欧哈马

(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公

司31100

专利代理师陈哲锋郭辉

(51)Int.Cl.

H01L21/768(2006.01)

H01L23/522(2006.01)

H01L23/532(2006.01)

权利要求书2页说明书15页附图13页

(54)发明名称

形成互连结构的方法

(57)摘要

CN119816937A形成互连结构的方法，所述方法包括：提供聚合物溶液，提供介电材料，将所述聚合物溶液旋涂于所述介电材料上，在渠中形成导电组合物在牺牲聚合物内的分散体，焙烤所述介电材料，使得移去所述牺牲