CN119816939A 用于在金属互连部之间形成气隙的湿法蚀刻工艺和方法 （东京毅力科创株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119816939A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202380063673.9

(22)申请日2023.07.31

(30)优先权数据

17/942,3782022.09.12US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.03.04

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2023/0290952023.07.31

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/058875EN2024.03.21

(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本

(72)发明人胡山刘志方张贺楠

桑吉塔·库玛丽彼得·德埃利亚

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

公司11227

专利代理师蔡胜有

(51)Int.Cl.

H01L21/768(2006.01)

H01L21/764(2006.01)

H01L21/306(2006.01)

H01L21/3213(2006.01)

权利要求书3页说明书14页附图9页

(54)发明名称

用于在金属互连部之间形成气隙的湿法蚀

刻工艺和方法

(57)摘要

CN119816939A在本披露中提供了在金属互连部之间形成气隙的改进的工艺流程和方法的实施例。更具体地，本披