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微纳结构设计：解锁电容式压力传感器性能提升密码

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技发展的浪潮中，传感器作为获取信息的关键部件，其性能的优劣直接影响到众多领域的发展水平。电容式压力传感器，凭借其高精度、高灵敏度、良好的线性度以及快速的动态响应等卓越特性，在工业自动化、航空航天、生物医学、汽车电子等诸多领域中占据着举足轻重的地位。

在工业自动化领域，电容式压力传感器被广泛应用于各种工业过程的压力监测与控制，如化工生产中的管道压力检测、液压系统中的压力测量等，对于确保生产过程的稳定性和产品质量起着至关重要的作用。在航空航天领域，其用于飞行器的气压测量、发动机油压监测等关键参数的检测，为飞行