原创力文档（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利说明书
请下载后查看说明书一种减少基片材料受高能离子轰击损伤的方法的说明书内容是请下载后查看（10）申请公布号
CN105070627B
（43）申请公布日2017.06.27
（21）申请号CN201510414721.1
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