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半导体超纯水系统碳排放核算与节能降碳技术导则

封面说明

文档名称：半导体超纯水系统碳排放核算与节能降碳技术导则

适用场景：12/8英寸半导体晶圆厂超纯水（UPW）系统全生命周期碳核算、节能改造、降碳治理、零碳工厂合规申报

编制依据：GB/T32150、GB/T32151企业温室气体核算标准、国家碳排放统计核算体系、工信部零碳工厂建设指导意见、SEMI超纯水运维规范

文档定位：行业标准化技术导则、工厂碳盘查作业依据、节能改造技术规范、双碳审厂归档文件

版本：V1.0

编制部门：设备运维部、能源管理部、EHS部、品质工艺部

编制/审核/批准：__________/__________/__________

生效日期：_______年____月____日

版本履历

版本

修订日期

修订内容

修订人

审核人

V1.0

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首次编制，完整覆盖UPW系统碳核算体系、基线模型、全维度降碳技术、效益评估、常态化管控机制

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前言

半导体超纯水（UPW）系统是晶圆制造核心公用工程，具备24h连续运行、工艺精度高、能耗密集、耗材消耗量大、废水回收率管控严格的行业特征。在国内双碳政策落地、零碳工厂全面推进、产品碳足迹溯源常态化的行业背景下，UPW系统作为晶圆厂高能耗、高碳排单元，其碳排量化核算、精准节能、系统性降碳已成为半导体制造企业降本减碳、合规