GBT 47625-2026 精细陶瓷 平行光束X射线衍射法测定单晶薄膜（晶圆）结晶质量标准立项发展报告.docx

精细陶瓷平行光束X射线衍射法测定单晶薄膜（晶圆）结晶质量标准立项发展报告

英文标题：StandardizationDevelopmentReport:DeterminationofCrystallineQualityofSingle-CrystalFilms(Wafers)forFineCeramicsbyParallelBeamX-RayDiffractionMethod

摘要：

关键词：精细陶瓷；单晶薄膜；晶圆；平行光束X射线衍射；结晶质量；摇摆曲线；标准

Keywords:FineCeramics;Single-CrystalFilms