CN119829524A 一种半导体工艺设备及其日志处理方法和存储介质 （北京北方华创微电子装备有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119829524A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202311326066.5

(22)申请日2023.10.13

(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司

地址100176北京市大兴区经济技术开发

区文昌大道8号

(72)发明人袁成浩

(74)专利代理机构北京国昊天诚知识产权代理

有限公司11315

专利代理师支珊

(51)Int.Cl.

G06F16/14(2019.01)

G06F16/18(2019.01)

F27B3/28(2006.01)

权利要求书2页说明书16页附图6页

(54)发明名称

一种半导体工艺设备及其日志处理方法和

存储介质

(57)摘要

CN119829524A本申请公开了一种半导体工艺设备及其日志处理方法和存储介质。其中，该方法包括：记录半导体工艺设备的日志数据，所述日志数据中包括工艺参数数据和日志信息；对所述工艺参数数据进行数据分析，得到数据分析结果；对需要显示的所述日志信息，进行窗口显示；根据所述日志信息和所述数据分析结果，生成日志文件。本申请集记录、分析和显示于一体，可实现对工艺参数数据的自动数据分析，无需人工二次处理，节省了大量人力，不容易出错，且提高了数据分析和问题排查的效率，同时可实现对日志