CN119832345A 一种晶圆缺陷分类方法及计算机设备 （深圳智现未来工业软件有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119832345A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202510302839.9

(22)申请日2025.03.14

(71)申请人深圳智现未来工业软件有限公司

地址518055广东省深圳市南山区西丽街

道西丽社区留仙大道创智云城1标段1栋D座2701

(72)发明人白肖艳蔡雨桐杜云峰夏敏易丛文管健

(74)专利代理机构北京亿腾知识产权代理事务所(普通合伙)11309

专利代理师周良玉

(51)Int.Cl.

G06V10/764(2022.01)

G06V20/70(2022.01)

G06V10/82(2022.01)

G06T7/00(2017.01)

权利要求书2页说明书9页附图4页

(54)发明名称

一种晶圆缺陷分类方法及计算机设备

(57)摘要

CN119832345A本说明书提供一种晶圆缺陷分类方法及计算机设备。其中，晶圆缺陷分类方法包括：首先将晶圆缺陷图像输入分类模型，得到晶圆缺陷图像可能落入的多个晶圆缺陷类型；再将该晶圆缺陷图像输入多模态大模型，得到多模态大模型针对该晶圆缺陷图像生成的描述文本；最后将分类模型输出的多个晶圆缺陷类型和描述文本输入多模态大模型，得到最终的晶圆缺陷分类结果。通过引