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磁控溅射耗材管理制度

磁控溅射耗材管理制度

一（1）磁控溅射靶材的入库验收流程是耗材管理的基础环节。靶材到货后需由专人核对采购订单信息，包括靶材型号、规格尺寸、纯度等级以及数量是否与合同一致。外观检查需重点关注靶材表面是否存在裂纹、划痕、氧化变色或异物附着等缺陷，对于陶瓷靶材还需检查是否有崩边或气孔。同时应核查随附的质量证明文件，如成分分析报告、密度测试数据以及出厂合格证。验收完成后需填写入库登记表，记录批次号、生产日期和供应商信息，并将靶材按类别分区存放于专用货架，避免不同类型靶材混淆。

一（2）靶材库存的动态管理需要建立数字化台账系统。每批次靶材入库后应立即录入电子管理系统，标注存放位置