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磁控溅射车间管理规定

磁控溅射车间管理规定

一、设备操作规程与维护保养制度

（1）磁控溅射设备的启动与关闭必须严格按照标准化流程执行。操作人员在开机前应当检查真空室的密封状态，确认所有法兰接口和观察窗处于紧闭位置，同时检查冷却水循环系统的压力和流量是否达到设备说明书规定的参数。电源系统的电压稳定性也是开机前的重要检查项目，若电压波动超过正负百分之五，应当暂停启动并联系电工检修。关机时应当先关闭靶材电源和偏压电源，待真空室温度降至安全阈值后再关闭机械泵和分子泵，最后切断总电源。严禁在未完全泄压的情况下打开真空室门，防止残余气体或高温造成人员伤害。

（2）日常维护保养应当制定详细的周检、月检和季