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磁控溅射真空系统规程

磁控溅射真空系统规程

一（1）磁控溅射真空系统的核心组成部分包括真空腔体、真空泵组、真空测量装置以及相应的管道阀门系统。真空腔体通常采用不锈钢材料制造，其内部表面需要进行抛光处理以减少气体吸附和放气。腔体的设计需考虑溅射靶材的安装位置、基片架的布局以及观察窗口的设置。真空泵组一般由机械泵、罗茨泵和分子泵组成，机械泵用于从大气压抽至低真空状态，罗茨泵作为中间级提升抽速，分子泵则负责将系统从低真空抽至高真空。各泵之间通过高真空阀门连接，并配备旁路管道以实现粗抽和精抽的切换。真空测量装置包括电阻规和电离规，分别用于低真空和高真空范围的监测。整个系统的密封性至关重要，所有法兰连