化学气相作业防护标准.docxVIP

化学气相作业防护标准

化学气相作业防护标准

一、工程控制与工艺环境防护标准在化学气相作业中的基础作用

在化学气相沉积、化学气相反应及涉及挥发性危险化学品的气相作业过程中，工程控制设施是从源头降低作业人员接触有毒有害、易燃易爆气态物质浓度的第一道防线，也是化学气相作业防护标准体系中最核心的硬件要求。依据GBZ1《工业企业设计卫生标准》、AQ4201《电子工业防尘防毒技术规范》及GBZ2.1《工作场所有害因素职业接触限值第1部分：化学有害因素》的相关规定，化学气相作业场所必须优先采用密闭化、自动化工艺设备，最大限度减少敞开式操作。对于无法完全密闭的加料、取样、换瓶等环节，必须设置局部排风罩或专用通风橱，局部排风罩控制风速不应低于0.5m/s，且排风系统应设置并配备相应的吸附、焚烧或洗涤等尾气处理装置，确保排入大气的有害物质符合GB16297《大气污染物综合排放标准》要求。化学气相作业区域的全室换气次数一般不应低于12次每小时，使用剧毒或高活性气体如硅烷、磷化氢、砷化氢的场所，应在操作位、气瓶柜、废气排放口及室内低位和高位分别设置固定式有毒可燃气体检测报警器，并与事故排风机、气源紧急切断阀联锁。报警器的检测原理应根据气体特性选择，硅烷、磷化氢等宜选用红外或电化学传感器，氨气宜选用电化学传感器，可燃气体组分宜选用催化燃烧传感器，所有传感器须定期由有资质单位校准，校准周期不超过六