磁控溅射防护用品规范.docxVIP

磁控溅射防护用品规范

磁控溅射防护用品规范

一、磁控溅射作业场所职业病危害辨识与防护用品选型配置规范

（1）物理性危害因素识别与对应防护用品选型。磁控溅射系统在运行过程中会产生多种物理性危害，主要包括高温热辐射、强光辐射、射频电磁辐射、高噪声以及真空腔体破空时可能产生的冲击波与飞溅物。高温热辐射主要来源于溅射靶材在离子轰击下的焦耳热以及扩散泵或分子泵加热单元，当设备长时间连续工作时腔体外壳温度可升至六十摄氏度以上，操作人员在取样、换靶或设备维护阶段近距离接触存在皮肤灼伤风险，因此应配置耐高温阻燃分体式防化服或至少穿着棉质长袖防静电工作服并佩戴耐热防烫手套，手套材质宜选用芳纶或浸硅胶牛皮材质，