CN119836593A 射束光阑、euv光源以及用于操作euv光源的方法 （通快激光系统半导体制造有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119836593A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202380064138.5

(22)申请日2023.09.05

(30)优先权数据

102022122963.72022.09.09DE

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.03.06

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/EP2023/0742782023.09.05

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/052321DE2024.03.14

(71)申请人通快激光系统半导体制造有限公司地址德国迪琴根

(72)发明人S·皮勒

(74)专利代理机构永新专利商标代理有限公司

72002

专利代理师郭毅

(51)Int.Cl.

G02B27/09(2006.01)

G02B5/00(2006.01)

H01S3/00(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图4页

(54)发明名称

射束光阑、EUV光源以及用于操作EUV光源的

方法

(57)摘要

CN119836593A本发明涉及射束光阑(10)，包括：光阑开口(12)，用于使激光束(14)透过；转向单元(16)，用于使激光束(14)中的未透过光阑开口(12)的部分偏转；反射单元(18)，用于反射激光